Kundenspezifische Mikroskope zur Vermessung der Lasermarkierungen auf Wafern
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| • Tiefenmessung per Autofokus | • Tiefenmessung per Interferenzobjektiv und Softwareauswertung |
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| • Vollautomatische Vermessung von Tiefe, Größe und Position |
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Walter Uhl |
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